酸蒸清洗系統利用亞沸的蒸餾水或硝酸的熱蒸汽來清洗反應管、燒杯、容量瓶等。比常規的清洗或泡酸方法來比，蒸汽清洗法的清洗效果更好。用清洗試劑的離子預飽和管壁，降低了反應管的對分析溶液的吸附效應。減少微波空白消解清洗程序對消解管有關部件的損耗。

　　酸蒸清洗系統可對各種材質的容器，如玻璃、石英、PTFE、PFA、陶瓷、硼硅玻璃，進行清洗和預飽和處理。利用水或酸蒸汽將金屬離子從容器表面浸提出來消除了由于容器污染帶來的測量誤差。容器被“新鮮”潔凈的蒸汽連續沖洗使得污染液體被引入到廢液容器中，頂部開啟式清洗罩，操作方便。無需冷卻裝置，節省水消耗。可同時處理3個1L的燒杯或多49個微波消解內管。

　　酸蒸清洗系統的加熱部分為陶瓷電加熱板，帶一個鍍PTFE的固定環，裝有酸或超純水的玻璃加熱鍋放置在固定環上。蒸汽室PTFE底板有多孔，可以插入多根蒸汽導管，在清洗較大容器時，不需要的蒸汽孔可以用玻璃塞進行密封。

　　在進行亞沸加熱時，熱蒸汽通過蒸汽導管進入到被清洗得容器中。有不同大小的蒸汽導管（出氣口直徑和管鼻位置不同）。采用潔凈單循環管路設計，冷凝清洗廢液被排入到廢液桶內。如果加入足夠量的酸，可以連續工作數小時。整臺設備應放置于通風柜內，并在*冷卻后再打開腔蓋，防止酸氣。